Seminar 1Messtechniken in der Nanotechnologie und Halbleiterindustrie

Moderne Messgeräte führen Messungen durch, liefern analysierbare Daten und ermöglichen schnelle Schlussfolgerungen. Wir werden sehen, wie sich verschiedene Fehlerquellen erkennen und korrigieren lassen. Die Nanotechnologie erfordert energiearme Mess- und Erzeugungsmethoden für Strom und Spannung. Messungen im Pulsbetrieb ermöglichen isotherme Strom-Spannungs-Kennlinienmessungen, Impulslastmessungen und Spannungsmessungen mit Wechselstrom.

Zu den zu besprechenden Themen gehören:
- Typische Messungen und Verbindungen in Forschung und Nanotechnologie. Messungen an Wafern mit Probestationen.
- Messtechniken, die zur Messung niedriger Ströme sowie niedriger und hoher Widerstände in Materialien oder Geräten mit einer Manometerskala erforderlich sind.
- Fehlerquellen, die Messungen an Halbleitern, Nanomaterialien und anderen Bauelementen beeinflussen.
- Messlösungen, die für Halbleiter, Nanobauelemente und Materialien geeignet sind.
- Charakterisierung und Verbindungen von Kohlenstoffnanoröhren- und Einzelelektronenbauelementen.
-Warum sind gepulste Tests für Nanobauelemente so wichtig?
- Bauelemente mit isothermen Grenzen (90 nm, 65 nm, FinFET, SOI, LDMOS (Hochleistung))
- Ladungssperre (Dielektrika mit einem auf 65 nm oder niedriger erhöhten K-Wert)
- Beeinträchtigung der Mobilität durch Frachtabfang.
- Wechselstrom-Stresstests zur Überprüfung der Gerätezuverlässigkeit und Lebensdauer.
- Gepulste Ladung für Gate-Dielektrika mit hoher k-Wert
- Multifrequenz-CV-Tests: Dielektrische Dicke, globale und Grenzflächen-Aufladungseigenschaften, Dotierungsprofile.
- Bioelektronik und Biosensoren.
-Gedächtnistest.

 

Seminar 2: Der neue Skriptprozessor in LXI-Geräten vereinfacht die Programmierung von Multimetern, Schaltsystemen und Mess-/Quelleneinheiten und ermöglicht so schnellere Messungen in kostengünstigeren Systemen.    

Diese Präsentation bietet einen Überblick über die neuen Funktionen gängiger Messgeräte, darunter Multimeter, Datenlogger, Schaltsysteme und Mess-/Quelleneinheiten. Es wird aufgezeigt, warum LXI-Geräte GPIB-basierte Geräte (IEEE-488GPIB-Nummer in naher Zukunft) bald ersetzen werden.

Folgende Themen werden behandelt:
– Entwicklung der Gleichstrom-Testtechnologie.
– Warum LXI?
– TSP-Programmierung: Wie lässt sich die Softwareentwicklungszeit um 60 % reduzieren?
– Warum ist TSP schneller und kostengünstiger als GPIB-Programmierung?
– Wie TSP-LINK die Synchronisierung mehrerer Geräte vereinfacht.
– Geräte mit kombinierten Mess- und Schaltfunktionen.

Sie sehen außerdem eine Messstation.

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